OP5240I（膜（mó）厚儀）
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關（guān）鍵詞：
半導體設備、半導體工藝
所屬分類：
產品描述
Opti-Probe 5000 用於非接觸式晶圓膜（mó）厚測量，通過測量單層或多層（céng）晶圓上薄膜的光（guāng）學參（cān）數（反射光（guāng）和建模的薄膜參（cān）數），計算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達六種不（bú）同的技術來測量薄膜（mó）厚度以及反射率，使用（yòng） laser，white light lamp，D2 lamp 等（děng）光源進行測量。
產品詢價
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