Dark Field(暗場缺陷檢測)

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關鍵詞:

半導(dǎo)體設備、半(bàn)導體工藝(yì)

所(suǒ)屬分類:

產品谘詢:

產品(pǐn)描述

Dark Field detectors collect scattered light over a large angular range, which provides high sensitivity for detection of small defects. Particles, scratches, missing patterns, as well as other surface contamination and pattern anomalies on the surface of the wafer scatter the incident laser light in various understood patterns.

產(chǎn)品詢價

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