OP5340(膜厚儀)
九一传媒公司制作网站半導體專注於半導體工藝設備的研發、製造、銷售及售後一體化服(fú)務,提供半導體廠商工藝設備的一站式(shì)解決方案。
關鍵詞:
半導(dǎo)體設備、半導體(tǐ)工藝
所屬分類:
產(chǎn)品描述
Opti-Probe 5000 用於非接觸式晶圓膜厚測量,通過測(cè)量單層或多層晶圓(yuán)上薄膜的光學參數(shù)(反射光和建模的薄(báo)膜參數),計算出(chū)薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達六種不同的技術來測量薄膜厚度以及反射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等光源進行測量。
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